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SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圓測(cè)試儀，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測(cè)器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續(xù)白光光譜，以及在許多不同波長(zhǎng)下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測(cè)器可以處理。200mm 晶圓尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O 集成了超低噪音熱卡盤(pán)，可提供 -60°C 至 180°C 的溫度范圍

光焱科技SG-A CMOS圖像傳感器測(cè)試儀是商用CMOS圖像傳感器測(cè)試儀，可以提供全面的CMOS圖像傳感器參數(shù)表征。被測(cè)設(shè)備可以是幾種類(lèi)型的CMOS圖像傳感器模塊。檢驗(yàn)程序符合EMVA 1288標(biāo)準(zhǔn)。因此，可用于進(jìn)行晶圓級(jí)光學(xué)檢測(cè)、加工參數(shù)控制、微透鏡設(shè)計(jì)、微透鏡驗(yàn)證。SG-A CMOS圖像傳感器測(cè)試儀的高度準(zhǔn)直光束（1°）可以克服傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)（如積分球系統(tǒng)）無(wú)法解決的新制造工藝的檢測(cè)困難。